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Präzisionsteile und Baugruppen für Robotik-, Lift- und Transportmodule für Wafer und Waferkassetten oder Leiterplatten, Waferhandling und Inspektionssystem mit Waferlift, zentralem 3-Paddel-Handler, Pre-Alignement, Makroinspektion und Mikroskopstation, Doppelseitenmikroskop für beidseitig strukturierte Wafer der Mikrosystemtechnik, Außenhandlingstation für Anlagen und Laborgeräte der Halbleiterindustrie, Substrathaltermagazine, neue Produktfamilie: wafertool, siehe www.wafertool.com
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